Technologie materiálů pro elektroniku a optoelektroniku - Ivan Hüttel

Technologie polovodivých materiálů zahrnuje velmi širokou oblast materiálů a v rámci jednoho skripta není možné ji celou obsáhnout. Z tohoto důvodu je pozornost věnována pouze základním a technicky významným polovodivým materiálům jako je křemík a některé vybrané sloučeniny typu A3B5, zvláště GaAs a to ještě převážně přípravě těchto materiálů ve formě monokrystalů. Dále jsou ve skriptu zařazeny kapitoly zaměřené na základní technologické operace používané v technologii polovodičů, jako je epitaxe, difuze, implantace na jedné straně a fotolitografické postupy a tvarovaní (suché a mokré procesy) polovodivých struktur na straně druhé.